01.10.2025 10:40
クラスターシステムとインラインシステム
クラスターシステム
オーリオンは、お客様のニーズに合わせた真空下での基板ハンドリングが可能なマルチチャンバーシステムを提供しています。ロードロックチャンバー、トランスファーチャンバー、スパッタリングやRIEプロセス用のプロセスモジュールなどの構成が可能です。
インラインシステム
オーリオンは、お客様のニーズに合わせた真空下での基板搬送が可能なインライン（パスバイ）システムを提供しています。ロードロックチャンバー、前処理チャンバー、スパッタチャンバーなどの構成が可能です。縦型と横型のレイアウトがあります。
カテゴリー
オファー
国家
ドイツ