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世界一小さいマスフロー/プレッシャー コントローラ以前、通常のマスフロー/圧力メータ及びコントローラは その、例えばNeSSITMシステムで記述されているように、 フートプリントが1.5インチ必要でした。この度オランダ 応用科学研究機関との協働により、ブロンコストハイテック はIQ+FLOWマスフローセンサーを開発いたしました。 マイクロシステム技術(MST)のお陰で、ブロンコストは フートプリント寸法が0.75インチのウルトラコンパクトな マスフローコントローラを開発することができました。 流量範囲;0,2~5000 sccm (mln/min)、でプレッシャー コントローラは;2.1kPa~1.05MPa(0.3…150psi) になります。
本質的に高品質で特徴は…
- コンパクトアセンブリーによる高スペース効率
- 経済的解決方法;ローコストオブオーナシップ
- チューブレス構成;ポテンシャルリークポイント低減
- トップマウントモジュール;容易なアクセス
- 事前テスト済み“Plug and Play” 機器;カスタムテスト要求 低減
- アナログ及びデジタル通信機能