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Bronkhorst High-Tech BV

Bronkhorst High-Tech BV

  • DIN EN ISO 9001:2015
  • DIN EN ISO 14001:2015
  • ISO/IEC 17025:2017

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  • ISO/IEC 17025:2017

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Bronkhorst High-Tech BVのマスフローメータ / コントローラ (EL-FLOW® METAL SEALED )

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メタルシールガスマスフローメータ

Bronkhorst®モデルF-111CMマスフローメータ（MFMs）はセミコン市場及びその他の高純度ガスアプリケーションの要求を満たすために特別に設計されました。この計器は高い表面品質を特徴とし、長期に亘るリー クタイト性を保証する金属間シールを備えたモジュール構造です。F-111CMは真空から1500 psig (100 bar)までの動作圧力で0.12...6 sccmから1...50 slm (N2ベース)までの流量範囲の精密測定に適しています。

EL-FLOW® メタルシールシリーズはデジタルPCボードを装備し、高精度、優れた温度安定性、高速応答を提供します。メインのデジタルPCボードには計測と制御に必要な全ての一般機能が含まれています。標準のRS232出力に加え、アナログI/Oも備えています。オプションとして、CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP or FLOW-BUSプロトコルを提供するオンボードインターフェースを取り付けることができます。EL-FLOW®メタルシールドデザインはオプションのマルチガス/マルチレンジ機能を備え、お客様に最適なフレキシビリティとプロセス効率を提供します。

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