Bronkhorst High-Tech BV

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DIN EN ISO 9001:2015
DIN EN ISO 14001:2015
ISO/IEC 17025:2017

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Bronkhorst High-Tech BVのマスフローメータ / コントローラ (EL-FLOW® METAL SEALED )

メタルシール式ガスマスフローメータ

Bronkhorst® model F-111CM マスフローメータ(MFM)は、セミコンマーケットや他の高純度ガスアプリケーションの要求を満たすために特別に設計されました。この計器は高い表面品質を特徴とし、長期的なリークタイト性を保証するメタルツーメタルシールを備えたモジュラー構造になっています。F-111CMは、0.12～6 sccm～1～50 slm（N2ベース）の流量範囲を、真空～1500 psig (100 bar)の動作圧力で正確に測定するのに適しています。

EL-FLOW® メタルシールシリーズは、デジタルPCボードを搭載し、高精度、優れた温度安定性、高速応答を実現しています。メインのデジタルpc-boardには、測定や制御に必要な一般的な機能が全て含まれています。標準のRS232出力に加えて、アナログI/Oも備えています。オプションとして、オンボードインターフェースを搭載することにより、CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCIIまたはTCP/IP, EtherNet/IP, FLOW-BUSプロトコルを提供することができます。EL-FLOW®メタルシールデザインはオプションのマルチガス/マルチレンジ機能を備えており、(OEM-)顧客に最適な柔軟性とプロセス効率を提供します。

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Bronkhorst High-Tech BV のマスフローメータ / コントローラ (EL-FLOW® METAL SEALED )

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