Bronkhorst High-Tech BVのIN-LINE Gas Filter
マスフローメータ/コントローラ用フィルタ
流量計/コントローラのMTBFを向上させる
ガス用のサーマルマスフローメータやコントローラは、その設計上、汚れに対して敏感です。平均故障間隔(MTBF)を向上させるためには、機器に流入するガスを清浄にすることが必要です。流量計のインレットにねじ込んで使用するIN-LINEフィルターが、この目的に対応します。このフィルターには、一般的なろ過を行うための316L焼結金属フィルターカートリッジが含まれており、適切な溶剤で洗浄することができます。ガスに大きな粒子が含まれている場合は、プレフィルターを使用することをお勧めします。
フィルターの選択
インレットに1/4インチのメスネジがある機器には、低流量または中流量のフィルターを選択します。高流量用のフィルターは、1/2インチのメスネジがある機器への取り付けに適しており、最小流量用のフィルターには⅛の接続部が用意されています。原則として、低圧力差で最も微細な孔径を選択します。ΔPは250~500mbarを超えないことが望ましく、孔径は5μmを超えないことが必要です。IN-LINEフィルターのΔPは、オンライン計算ツールFLUIDATを使用して決定することができます。