Name: 半導体技術用クリーンルームロボット
Brand: Stäubli Electrical Connectors AG
SKU: 157815

Stäubli Electrical Connectors AG

DIN EN ISO 9001

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Stäubli Electrical Connectors AG の半導体技術用クリーンルームロボット

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当社のクリーンルームロボットソリューションは、精密さ、スピード、クリーンさを兼ね備えています

精密さとスピードを兼ね備え、パーティクル汚染を低減するという点で、エレクトロニクスおよび半導体製造は自動化に高い要求があります。ストーブリのクリーンルームロボットは、半導体製造のバリューチェーン全体において、シリコンウェーハ、FOUP/カセット、フォトマスク、パネルなどを、非常に高い精度とスピード、低振動で搬送することができます。

半導体業界向けに特別に開発された

特別に開発されたスーパークリーンルーム（SCR）6軸ロボットは、クリーンルーム環境の厳しい要件に対応するように設計されています。ISO 14644-1 Class 2/3またはFED209E Subclass 1規格に準拠し、特殊コーティングを施したポリウレタンを使用した完全密閉型アームと、限られたスペースでの優れた操作性を特徴としています。ストーブリのSCRロボットは、他のウェーハ製造ロボットに比べ、柔軟性が高く、可搬重量が大きく、リーチが長いのが特徴です。そのため、ウェーハ、フォトマスク、カセットのハンドリングに関するあらゆる要件を満たすことができます。ロボットの設置面積が小さいため、専用機の貴重な設置スペースを節約することができます。

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