Carl Zeiss IQS Deutschland GmbH

リファレンス

ZEISS XENOSは、研究機関、航空宇宙産業、光学産業など、最高精度が要求されるあらゆる場所で活躍しています。このハイエンド機は、技術的に実現可能な限界の精度と、約1立方メートルの測定範囲を兼ね備えています。

革新的な機械設計

ZEISS XENOSは、実績のあるZEISS CenterMaxをベースにした新しい機械設計が印象的です。標準的なブリッジタイプのデザインとは異なり、Y字型ガイドウェイが側壁の上にあり、すべての移動軸がクランプエリアから分離されています。Y方向にはクロスビームのみが動くため、移動質量は少なくなります。これは、移動テーブルと比較して大きな利点です。さらに、軽量化と常時移動する質量により、加速度と最高速度に関する駆動部の最適な調整が可能になります。

すべての軸にリニアドライブを採用

ZEISS XENOSは、すべての軸にリニアドライブを採用しています。その利点は、高速性、非常に速い加速度、高い位置決め精度、せん断力のない駆動です。高解像度スケールと合わせて、ZEISS XENOSでリニアドライブを使用することにより、非常に高い軌跡追従性と100ナノメートル以下の極めて高い位置決め精度を実現します。例えば、スタイラスのたわみがより一定に保たれるため、高い精度が実現されます。スタイラスが指定された経路を確実かつ正確に辿るほど、誤差をより正確に判断することができます。

バーチャルセントラルドライブ

ZEISSのXENOSは、ZEISSが開発した新技術であるセントラルドライブにより、Y方向に2つのリニアドライブを搭載し、同期をとっています。これは、X軸の位置に応じてドライブの最適な力配分を保証します。これは、最新世代のコントローラーとアルゴリズムによって実現されています。これは、測定範囲全体を通して、最高の精度と可能な限り最高の経路の順守を実現するための重要な要素となっています。

炭化ケイ素セラミック

ZEISS XENOSは、機械構造の精度に関係する部分に、革新的な炭化ケイ素セラミックを使用しています。これまで、この材料は同等の部品サイズや精度で使用されることはほとんどありませんでした。標準的な酸化アルミニウムセラミックと比較して、炭化ケイ素セラミックは約50パーセントの低熱膨張、最大30パーセントの高剛性、20パーセントの軽量化を実現しています。鉄と比較すると、2倍の剛性と半分の重量を実現しています。

強化されたVASTゴールド

ZEISS XENOSは、ZEISSのVASTゴールドリファレンスプローブを標準搭載しています。ZEISS XENOSの開発中、ZEISSのこの強力なセンサーは、精度と再現性の向上のためにさらに最適化されました。ZEISS XENOSのラムへの接続がより強固になったことも新しい点です。VAST ゴールドセンサーは、非対称スタイラス構成を含め、最大 800mm の長さのスタイラスと最大 500g のスタイラス重量に対応するように設計されています。

最適化されたエアベアリング

接続部の剛性を高めた新しいエアベアリングにより、安定性が向上し、より高い精度が得られます。

エレクトロニクス設計の改善

デカップリングの改善と、分散型モジュールを採用した新しいエレクトロニクスコンセプトにより、すべての座標測定機で可動ケーブルが精度に及ぼす影響を明確に低減しました。新しいCAA（Computer-Aided Accuracy）受け入れ方法と追加のCAA補正は、最高の精度を達成するためにますます重要な役割を果たすようになってきています。