マルチピーク白色光干渉計で高精度な多層膜測定を実現

マイクロイプシロンの白色光干渉計は、優れた精度と絶対的な測定値を特徴としています。この産業用デバイスは、機械に組み込むためのインライン使用にも、実験室での使用にも適しています。白色光干渉計は、距離や厚みを測定し、ナノメートルの精度とピコメートルの分解能を実現する装置です。

また、Multipeakバージョンでは、一度の測定で複数の透明な層を高精度に検出することも可能になりました。マルチピーク距離測定用（IMS5x00-DS/MP）と多層膜厚測定用（IMS5400-TH/MP）の2種類のコントローラーモデルを用意しています。2つのシステムのバリエーションは、距離系ではそれぞれの距離値から層厚を計算し、厚み系では直接測定する点が異なります。

マルチピーク距離測定システムは、特に距離と厚さを同時に測定するアライメントやポジショニングのタスクで使用されます。2.1mmの広い測定範囲において、最小厚み10μm（BK7）までの13層まで検出可能です。精度に関しては、約19mmと大きな距離から測定しています。絶対値測定により、段差やエッジなどの信号が途切れた後でも、システムを参照する必要がありません。

多層膜厚測定システムは、最大5層までの距離に依存しない厚み値が必要な場合に必ず使用されます。2.1mmの厚み測定範囲では、35μm（BK7）までの単層をプロセス安定性高く測定することが可能です。被測定物の距離変動は、広い動作範囲によって補正されるため、振動や他の物質の動きが測定に影響を与えることはありません。厚み測定システムのもう一つの利点は、大きなベース距離です。測定はターゲットから最大70mmまで離れて行われるため、プロセスの信頼性が高く、センサーを損傷から保護します。

すべてのシステムは、現代的で直感的なウェブインターフェースを備えており、簡単にシステム設定を行うことができます。さらに、多様なインターフェース（EtherCAT、Ethernet、PROFINET、EtherNet/IP、RS422、アナログ）により、数多くの統合オプションが提供されます。工業用として、干渉計センサーは高い保護等級IP65を備えています。また、オプションで真空対応システムも用意されています。

白色光干渉計の優位性

クラス最高の解像度 <30 pm
ナノメートルの精度を実現する±10 nmまでのリニアリティ
距離に依存しない厚み測定
最大13層、最小厚み10μmまでの測定が可能
プロセス安定化計測のためのロバストシステム
測定範囲2.1mmでターゲットとの距離が大きい
パイロットレーザーで測定点を可視化し、測定位置を光学的にフィードバックします。

その他のニュース

25.04.2024 02:10

ボタンに代わるレーザーセンサー

マイクロイプシロンのレーザーセンサoptoNCDT 1220は、検査装置の部品の幾何学的測定に使用されます。特に、連続生産されるプラスチックやアルミダイキャスト部品の公差を監視します。

18.04.2024 01:05

共焦点クロマチック精密センサー

共焦点クロマチックセンサのマイクロイプシロンセンサポートフォリオに、変位と厚み測定用の新しい高精度センサが加わりました。confocalDT IFS2407-1.5モデルは、特に曲面や構造面に適...

16.04.2024 01:00

マイクロイプシロン：ハノーバー・メッセ2024でのセンサーイノベーション

産業オートメーションの革新的なトレンドがハノーバー・メッセで皆様をお待ちしています。

当社の見本市スタンドで、最新のセンサ世代と計測のハイライトをご覧ください。

...

06.04.2024 01:05

MICRO-EPSILON Messtechnikの広い測定範囲に対応する高性能3Dスナップショットセンサー

広い測定範囲と卓越した3Dデータ品質を備えたsurfaceCONTROL 3xx0-240は、大きなターゲットの構造と詳細を最高の精度で捉えます。このセンサーは、最大4 µmの高いz分解能...

24.03.2024 01:05

新しいoptoCONTROL 2700高性能LEDマイクロメータは、要求の厳しい測定作業において比類のない精度を実現します。厚さ、ギャップ、エッジ、セグメントを高精度で測定できます。0.3mmの...

08.03.2024 01:10

ソーラーウェーハの厚みと構造測定

ソーラーウエハーの製造では、まず、いわゆるインゴットから原料ウエハーが切り出される。

そのため、6つの静電容量式センサーがベルトコンベア上のブランクを測定します。常に2つの...