ソーラーウェーハの厚みと構造測定

ソーラーウエハーの製造では、まず、いわゆるインゴットから原料ウエハーが切り出される。

そのため、6つの静電容量式センサーがベルトコンベア上のブランクを測定します。常に2つのセンサーが向かい合って配置されているため、合計3つの厚みトラックを分析することができます。計算機能を内蔵したマルチチャンネルコントローラーが正確な厚み信号を直接決定し、その信号で部品のOK/NOKを判定します。さらに、それぞれの距離信号も出力され、表面品質や凹凸の可能性に関して評価されます。

静電容量式センサーを使用したソリューションには、正確で安定した厚み測定という利点があります。光学式に比べ、静電容量式センサーははるかに正確です。計算オプションを内蔵したcapaNCDT 6200マルチチャンネルシステムは、距離と厚み信号の両方を出力することもできます。

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