interferoMETER：特殊な要件に対応する強力なセンサー

マイクロイプシロンは、interferoMETERシリーズで、工業用距離・厚み計測のための革新的な白色光干渉計を最高精度で提供します。レーザー干渉計とは対照的に、信号の飛びがあっても絶対距離の測定が可能です。ピコメートル単位の分解能を達成することができます。特殊な環境下での高性能な測定用に、3つの新しいセンサーが用意されています。

interferoMETER IMP-DS0.5/90/VAC
小さな設置スペースに適した90°距離センサー測定範囲 1.5 mm 直線性 ±10 nm（コントローラーによる）放射状ビーム出口真空アプリケーション用バージョン最大UHVまで対応。UHV までの真空アプリケーション用

interferoMETER IMP-DS19/VAC(001)
最高の温度安定性を持つセンサー測定範囲 2.1 mm リニアリティ ±10 nm（コントローラーによる）。10 nm（コントローラによる）センサ素材はInvar製 UHVまでの真空アプリケーション用バージョン

interferoMETER IMP-DS1/VAC
小型距離センサ ø4mm 測定範囲 1.1 mm 直線性 ±10 nm（コントローラーによる）設置が容易な統合ケーブル UHVまでの真空アプリケーション用のバージョン