インターフェロメーター特殊な要件に対応する高性能センサー

interferoMETER IMP-DSシリーズの3つの新しいセンサーは、特殊な環境下での高精度距離測定用に設計されています。これらのセンサーとケーブルはパーティクルフリーで、クリーンルームでも真空中でも使用できます。サブナノメートルの測定結果を提供し、ボアや狭い設置スペースでの90°測定用、高い温度安定性を備えた超高真空用、直径わずか4mmの小型化距離センサーなど、さまざまなバージョンをご用意しています。

interferoMETERシリーズにより、Micro-Epsilonは工業用距離・厚み測定に最高精度の革新的な白色光干渉計を提供します。レーザー干渉計とは対照的に、信号ジャンプがあっても絶対距離測定が可能です。ピコメートル単位の分解能も実現可能です。

要求の厳しい環境に干渉計を組み込むために、設計や特性の異なる新しいセンサーを用意しています。IMP-DS0.5/90/VACは、90°のビーム経路により、平らな設置スペースにも取り付けることができます。新しい小型センサーIMP-DS1/VACは、マイクロイプシロンの光学センサーの中で最小クラスの製品です。直径4mmでケーブルが内蔵されているため、非常に狭い設置スペースでも使用できます。センサとケーブルは、クリーンルームと真空の両方で使用できます。