ソーラーウェーハの厚みと構造測定

太陽電池用ウェハーの製造では、まずインゴットと呼ばれる部分からウェハーが切り出される。

このインゴットは、さらなる加工に適した部品として使用されるために、約180μmの所定の厚さを維持する必要があります。

そのため、6つの静電容量式センサーがベルトコンベア上のブランクを測定する。常に2つのセンサーが向かい合って配置されているため、合計3つの厚みトラックを分析することができます。計算機能を内蔵したマルチチャンネルコントローラーが正確な厚み信号を直接決定し、その信号で部品のOK/NOKを判定します。さらに、それぞれの距離信号も出力され、表面品質や凹凸の可能性を評価します。

静電容量式センサーによるソリューションには、正確で安定した厚み測定という利点があります。光学式システムと比較して、静電容量式センサーははるかに正確です。計算オプションを統合したcapaNCDT 6200マルチチャンネルシステムは、距離と厚み信号の両方を出力するために使用することもできます。

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