真空中の測定タスクをマスターする

真空中の測定タスクは、使用するセンサー技術に最も高い要求をもたらします。信頼性が高く、非接触で安定したセンサは、多くの真空クラスで正確なデータを提供します。要件に応じて、センサーは特定のアプリケーション用に構成され、それぞれの条件に最適に適合させることができます。

半導体産業、光学産業、航空産業において、真空条件下での測定は日常生活の一部であると同時に、センサー技術に最も高い要求を課しています。Micro-Epsilonは、カタログセンサと特別に開発されたセンサの両方を提供し、過酷な条件下でも高い信頼性と精度で動作します。適合する材料と最適化された設計により、真空中で直接機能するか、真空窓を通して外部から測定します。

用途に応じて、光学式、誘導式、静電容量式、または干渉式センサーが使用されます。optoNCDTシリーズのレーザーセンサーは、レーザー溶接や積層造形などのプロセスにおける距離測定に最適です。confocalDTシリーズの共焦点センサーは、ウェハーやディスプレイのナノメートル精度の厚さ測定に最適です。アブソリュート干渉計は、半導体製造などにおいて高精度の距離・厚み測定を実現します。induSENSORシリーズの渦電流をベースとした誘導型センサー、静電容量型センサーcapaNCDT、磁気誘導型センサーmainSENSORは、例えば航空産業など、要求の厳しい真空アプリケーションのための追加ソリューションを提供します。

すべてのセンサは厳格な仕様で製造され、定期的に検査されています（TENAXサンプリングなど）。コンパクトな設計、統合されたコントローラ、インテリジェントなインターフェースにより、迅速に設置することができ、既存のシステムに柔軟に統合することができます。マイクロイプシロンは、あらゆる真空アプリケーションに最適な測定技術を提供します。さらに詳しい情報とヒントは、最新の業界カタログをご覧ください。