静電容量式センサー用マウントブラケットで最高精度を実現

マイクロイプシロンの静電容量式センサーを搭載した新しいマウンティングブラケットは、両面厚み測定において高精度の測定結果を保証します。

センサーは互いに対向して配置され、しっかりと固定されています。ブラケットに取り付けることで、センサー同士を恒久的かつ理想的に配置することができます。

また、静電容量式センサーは、新型マウントブラケットにより、

高精度の

位置合わせが可能です。この原理により、センサーが1軸上に正確に配置され、高精度な測定結果を得ることができるのです。

1つのマウンティングブラケットに最大6個のセンサーを取り付けることができます。2つのセンサーがそれぞれ測定ポイントを表すので、異なるポイントで最大3つの同時測定が可能です。マウントブラケットは特殊な要件に対応するよう設計されています。真空対応であると同時に、100℃までの温度安定性に優れているため、静電容量方式の取り付けブラケットを使用して温度測定を行っています。このため、静電容量式マウントブラケットは、半導体業界ではウェーハの高分解能厚み測定、電池業界では電池箔とセパレータ箔の両面厚み測定など、高精度な用途にも使用されています。

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