超高真空下におけるナノメートル単位の距離測定

Micro-Epsilon社のinterferoMETERシリーズに属する革新的な白色光干渉計は、最高精度を誇る絶対的な非接触距離測定を実現します。 Micro-Epsilonは、新製品「IMP DS35/VAC」により、真空環境（超高真空領域まで）での使用に特化して設計されたモデルをセンサーラインナップに追加しました。このセンサーは、約35 mmという大きな基本距離と1 nm未満の分解能を兼ね備えており、精度、プロセスの安定性、およびシステムへの統合性が決定的に重要な、要求の厳しい測定課題に特に適しています。

大きなベース距離がもたらす新たな応用可能性

IMP DS35/VACは、測定範囲の起点約35 mmから2.1 mmまでの測定範囲を提供します。これにより、ガラスウェーハ製造における位置監視や、コーティングされたウェーハ上の測定など、安全な距離から精密な距離測定を行うことが可能になります。また、大きなベース距離により、低位置にある測定ポイントやアクセスが困難な測定ポイントでの用途も容易になります。光スポット径がわずか15 µmであるため、微細な構造も確実に検出でき、測定角度が±1°であることから、設置条件が厳しい状況でも安定した測定結果が得られます。

高精度と高性能コントローラの組み合わせ

IMP DS35/VACは、ステンレス鋼製の堅牢な筐体を備え、UHVまでの真空環境での使用に対応しています。この新しいセンサーは、コントローラーIMS5400およびIMS5400MPに対応しており、1 nm未満の分解能と±50 nm未満の直線性を実現します。これにより、本システムは最新の生産および検査プロセスにおける高精度な距離測定に適しています。さらに、コントローラIMS5400MPを使用すれば、最大13層までのマルチピーク距離測定を行うことが可能です。これにより、透明な材料、コーティングされた材料、あるいは多層材料の分析において、さらなる可能性が広がります。

その他のニュース

23.09.2026 01:05

プロファイルおよび半製品の360° 3D形状検査

profileGAUGE X.LP-3Dは、プロファイルや半製品の高精度な3D形状検査を行うインライン測定システムです。 4台のscanCONTROLレーザースキャナーが、測定対象を複数の視点か...

08.09.2026 01:05

レーザートライアングレーションにおける新たな高性能クラス

Micro-Epsilon社のoptoNCDT 5500は、性能が大幅に向上しました。測定範囲全体で150 kHzの測定レートを誇り、同クラスで最速のレーザーセンサーとなっています。同時に、o...

31.08.2026 01:05

遠距離も正確に捉える

新型レーザー距離センサー「optoNCDT ILR1041-150」は、最大150 mまでの距離を確実に測定可能です。飛行時間測定方式、内蔵のIO-Link通信、そして堅牢な設計により、過酷な環...

21.08.2026 01:05

旋盤加工部品の穴深さ検出

銅などの旋盤加工部品の製造において、正確な穴の深さは決定的な品質特性です。従来の検査方法では、特に深い穴や非常に微細な穴の場合、材料特性や表面状態、あるいは限られたアクセス性により測定が困難にな...

16.08.2026 01:05

車体シェルの精密な欠陥検出

Micro-Epsilon社の「surfaceCONTROL Automotive」は、車体シェルの表面検査を完全自動化するロボットベースの測定システムです。このシステムはフリンジ投影の原理を採...

07.08.2026 02:10

共焦点精密測定のための柔軟性

マイクロイプシロンは、confocalDT IFS2404シリーズの新しいセンサを発表し、共焦点クロマチックセンサシステムの世界最大の製品ポートフォリオを拡大します。このセンサは、反射面、拡散面...