超高真空下におけるナノメートル単位の距離測定

Micro-Epsilon社のinterferoMETERシリーズに属する革新的な白色光干渉計は、最高精度を誇る絶対的な非接触距離測定を実現します。 Micro-Epsilonは、新製品「IMP DS35/VAC」により、真空環境（超高真空領域まで）での使用に特化して設計されたモデルをセンサーラインナップに追加しました。このセンサーは、約35 mmという大きな基本距離と1 nm未満の分解能を兼ね備えており、精度、プロセスの安定性、およびシステムへの統合性が決定的に重要な、要求の厳しい測定課題に特に適しています。

大きなベース距離がもたらす新たな応用可能性

IMP DS35/VACは、測定範囲の起点約35 mmから2.1 mmまでの測定範囲を提供します。これにより、ガラスウェーハ製造における位置監視や、コーティングされたウェーハ上の測定など、安全な距離から精密な距離測定を行うことが可能になります。また、大きなベース距離により、低位置にある測定ポイントやアクセスが困難な測定ポイントでの用途も容易になります。光スポット径がわずか15 µmであるため、微細な構造も確実に検出でき、測定角度が±1°であることから、設置条件が厳しい状況でも安定した測定結果が得られます。

高精度と高性能コントローラの組み合わせ

IMP DS35/VACは、ステンレス鋼製の堅牢な筐体を備え、UHVまでの真空環境での使用に対応しています。この新しいセンサーは、コントローラーIMS5400およびIMS5400MPに対応しており、1 nm未満の分解能と±50 nm未満の直線性を実現します。これにより、本システムは最新の生産および検査プロセスにおける高精度な距離測定に適しています。さらに、コントローラIMS5400MPを使用すれば、最大13層までのマルチピーク距離測定を行うことが可能です。これにより、透明な材料、コーティングされた材料、あるいは多層材料の分析において、さらなる可能性が広がります。

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