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MICRO-EPSILON Messtechnik GmbH & Co. KG

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23.08.2023 01:08

ガラスウェーハ上の正確なノッチ検出

高品質の半導体チップを製造するためには、ガラスウェーハの製造において正確なアライメントと位置決め技術が必要とされる。この工程で重要なのがノッチ検出で、ウェハー上のノッチの位置を正確に記録します。このノッチ位置は、その後の処理工程やハンドリング工程の基準点となります。

optoCONTROL CLS1000光ファイバーセンサーは、精密なノッチ検出に使用されます。この最先端のセンサーは、ガラスウェーハ上のノッチの正確な位置を検出するため、極めて信頼性の高いアライメントを可能にします。CLS1000センサーは、位置と距離の測定において、その高分解能と高精度を印象づけます。また、コンパクトな設計、容易な統合、高い信頼性も特徴です。その性能により、ガラスウェーハ上の半導体チップ製造に不可欠なサポート装置となっています。

特長一覧
  • 高分解能・高精度で正確な位置検出
  • 最大10kHz、応答時間100µsの高速応答
  • 既存システムへの組み込みが容易
  • 真空に適したセンサーヘッド

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