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MICRO-EPSILON Messtechnik GmbH & Co. KG

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22.09.2023 01:09

高精度ウェーハ厚さ測定用新型干渉計

IMS5420-TH白色光干渉計は、単結晶シリコンウェーハの工業用膜厚測定に新たな展望を開きます。広帯域スーパールミネッセントダイオード（SLED）により、IMS5420-THは、アンドープ、ドープ、高濃度ドープSIウェハーに使用できます。厚さ測定範囲は0.05～1.05 mmです。

半導体ウェハーの

製造は

、最高の精度が要求されます。重要な工程はブランクのラッピングで、これによって均一な厚さにします。インターフェロメーターIMS5420シリーズの白色光干渉計は、厚さを連続的に制御するために開発されました。

これらの各製品は、コンパクトなセンサーとコントローラで構成され、堅牢な工業用ハウジングに収納されています。コントローラに内蔵されたアクティブ温度制御が、測定の高い安定性を保証します。

この干渉計は、厚み測定システムまたはマルチピーク厚み測定システムとして利用できます。マルチピーク厚さ測定システムは、最大5層の厚さ測定が可能です。例えば、ウェーハ厚さ、エアギャップ、フォイル、50 µmを超えるコーティングなどです。厳しい環境条件下での厚さ測定用に、IMS5420IP67 コントローラは、IP67 およびステンレススチール製ハウジングのほか、適切な光ファイバーとセンサーをご用意しています。


特長一覧
  • アンドープ、ドープ、高ドープウェーハのナノメータ精度の厚さ測定
  • マルチピーク：SI厚さ0.05～1.05 mmの5層まで検出可能
  • z軸で1nmの高分解能
  • 最大6 kHzの測定レートによる高速測定
  • イーサネット / EtherCAT / RS422 / PROFINET / EtherNet/IP
  • ウェブインターフェイスによる簡単なパラメータ設定

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