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MICRO-EPSILON Messtechnik GmbH & Co. KG

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19.09.2023 00:09

真空中で使用する共焦点クロマチックセンサー

共焦点クロマチックセンサの高性能製品ポートフォリオに、真空対応モデルが加わりました。測定範囲10 mmのIFS2406-10/Vac(001)シリーズと、測定範囲28 mmのIFS2405-28/Vac(001)シリーズが登場しました。IFS2405-28/Vac(001)はベースディスタンスが大きいため、ターゲットまでの距離が遠くても測定が可能ですが、IFS2406-10/Vac(001)は直径が小さく、同時に測定範囲が広いことが特徴です。

共焦点センサーの設定



IFD2410-1 - コントローラー一体型共焦点クロマチックセンサーシステム
マイクロメートルの精度で距離と厚みを測定
測定範囲 1 mm | 分解能 12 nm | ライトスポット径 12 µm
開口数 0.45

IFD2411-1 - 小型共焦点測定システム
距離・厚み測定に最適
測定レンジ 1 mm|分解能 12 nm|光スポット径 12 µm
開口数 0.45

IFS2403/90-1,5 - 共焦点クロマチックハイブリッドセンサ ø8 mm、ラジアルビームパス付き
平滑面および反射面の高精度距離測定に最適
測定範囲1.5 mm|分解能60 nm|光スポット径15 µm
開口数0.3|最大測定角度± 16°|検出角度± 16°|測定範囲1.5 mm|分解能60 nm|光スポット径15 µm測定角度 ± 16°|センサー直径 8 mm

IFS2403-1,5 - 共焦点クロマチックハイブリッドセンサ ø8 mm
平滑面や反射面の高精度距離測定に最適
測定範囲 1.5 mm|分解能 60 nm|光スポット径 15 µm
開口数 0.3|最大測定角度 ± 16°|センサ径 8 mm測定角度 ± 16°|センサー直径 8 mm

IFS2404/90-2 - 共焦点クロマチックコンパクトセンサー ø12 mm ラジアルビームパス
あらゆる表面の高分解能距離測定に最適、構造化された光沢のある表面にも対応
測定範囲 2 mm|分解能 40 nm|光スポット径 10 µm
開口数 0.25|最大測定角度 ± 12°|センサー径 8 mm測定角度 ± 12°|センサー直径 12 mm

IFS2404-2 - 共焦点クロマチックコンパクトセンサー ø12 mm
あらゆる表面の高分解能距離測定に最適、構造物や光沢面にも対応
測定範囲 2 mm|分解能 40 nm|光スポット径 10 µm
開口数 0.25|最大測定角度 ± 12°|センサー径 12 mm測定角度 ± 12°|センサー直径 12 mm

IFS2405-1 - 高精度共焦点クロマチックセンサー
あらゆる表面の高分解能距離測定に最適、構造物や光沢面にも対応
測定範囲 1 mm|分解能 28 nm|光スポット径 8 µm
開口数 0.55|最大測定角度 ± 30°|センサー径 12 mm測定角度 ± 30°|センサー直径 27 mm

IFS2405-3 - 高精度共焦点クロマチックセンサーあらゆる表面の高解像度距離測定に最適、構造化された光沢面にも対応
測定範囲 3 mm|分解能 36 nm|光スポット径 9 µm
開口数 0.45|最大測定角度測定角度 ± 24°|センサー直径 34 mm

IFS2406/90-2,5/VAC(001) - ラジアルビームパスの高精度共焦点クロマチックセンサー、真空に最適
あらゆる表面の高分解能距離測定に最適、構造化された光沢のある表面にも対応
測定範囲 2.5 mm|分解能 24 nm|光スポット径 10 µm
開口数 0.3|最大測距角度 ± 16°|共焦点クロマチックセンサー。測定角度 ± 16°|センサー直径 20 mm

IFS2406-2,5/VAC(003) - 高精度共焦点クロマチックセンサー、真空対応
あらゆる表面の高分解能距離測定に最適、構造化された光沢のある表面にも対応
測定範囲 2.5 mm|分解能 24 nm|光スポット径 10 µm
開口数 0.3|最大測距角度 ± 16°|最大光スポット径 10 µm|測定範囲 2.測定角度 ± 16°|センサー直径 20 mm

IFS2407-3 - 高精度共焦点クロマチックセンサー
あらゆる表面の高分解能距離および粗さ測定に最適、構造化された光沢面にも対応
測定範囲 3 mm|分解能 20 nm|光スポット径 9 µm
開口数 0.43|最大測定角度 ± 30°|センサー径 20 mm。測定角度 ± 30°|センサー直径 54 mm

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