アブソリュート干渉計ビームパス90°の新しい真空センサー

干渉計 5400-DS および 5600-DS アブソリュート干渉計は、ナノメートル精度の距離測定に使用されます。この度、この製品群に10mmの大きなベース距離を持つ新しいセンサーが加わりました。これらは、クリーンルーム環境や真空中での高精度アプリケーション用に設計されており、例えば、コーティングされたウェハー上の測定に使用されます。

また、非磁性チタンUHVバージョンは、医療技術における核スピンや電子ビーム顕微鏡のような強磁場での使用を可能にします。 90°のビーム経路を持つ設計は、必要な設置スペースの奥行きを大幅に削減します。コントローラーの選択により、<±50 nmまたは<±10 nmの直線性が可能です。革新的なアブソリュート干渉計には、様々な制御システムや生産プログラムに最適に統合するための豊富な接続オプションがあります。アナログ出力だけでなく、Ethernet、EtherCAT、RS422、PROFINET、EtherNet/IPなどのデジタルインターフェースがあります。コントローラとセンサの設定は、ソフトウェアを追加することなく、通常通りウェブインターフェースを介して行われます。