アプリケーション・ソリューション：OLEDスクリーンへの印刷

アプリケーション・ソリューション：OLEDスクリーンの印刷

OLEDスクリーンの印刷プロセスでは、ガスをキャリア材料として使用し、プリントヘッドを介して基板上に赤、緑、青の構造体の形で有機分子を蒸着させます。特に、距離とギャップの測定は正確に行わなければなりません。インターフェロメーターIMS5400MP-DSは、これらの測定を可能にします。

品質上の理由から、基板までの距離は常に正確に保たれなければなりません。基板はエアテーブルの上に置かれているため、変動する可能性があり、テーブルまでの距離は複数の干渉計によって決定されます。マルチピークオプションを使用すれば、基板とその上のシリコン層とのギャップを同時にチェックすることができる。非常に小型で真空対応のIMP DS1/VACセンサーは、エアテーブルに直接取り付けられ、厚さ約0.5mmのガラス上またはガラス越しに下から測定します。測定値はEtherCAT経由で直接機械のコントローラに送信され、圧縮空気の調整に使用されます。

利点

最高精度の分解能と直線性
距離とギャップを同時に測定するマルチピーク機能
直径わずか4mmの小型センサー

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