アブソリュート干渉計ビームパス90°の新しい真空センサー

マイクロイプシロンのアブソリュート干渉計は、高精度距離測定の新たな基準を打ち立てました。新しいIMP-DS10/90/VACミニチュアセンサは真空中で使用できるように設計されており、90°のビームパスにより省スペースでの統合が可能です。このセンサーは、インターフェロメーターIMS5400またはIMS5600コントローラと互換性があります。

5400-DSおよび5600-DSアブソリュート干渉計は、ナノメートル精度の距離測定に使用されます。この度、製品グループが拡大され、10mmの大きなベース距離を持つ新しいセンサーが加わりました。これらは、クリーンルーム環境や真空中での高精度アプリケーション用に設計されており、例えば、コーティングされたウェハー上の測定に使用されます。非磁性チタンUHVバージョンは、医療技術の核スピンや電子ビーム顕微鏡で見られるような強磁場での使用も可能です。

90°のビーム経路を持つ設計は、必要な設置深さを非常に小さくします。コントローラーの選択により、±50 nm未満または±10 nm未満の直線性が可能です。革新的なアブソリュート干渉計には、様々な制御システムや生産プログラムに最適に統合するための豊富な接続オプションがあります。アナログ出力だけでなく、Ethernet、EtherCAT、RS422、PROFINET、EtherNet/IPなどのデジタルインターフェースがあります。コントローラとセンサの設定は、ソフトウェアを追加することなく、ウェブインターフェースを介して通常通り実行できます。