アブソリュート干渉計ビームパス90°の新しい真空センサー

マイクロイプシロンのアブソリュート干渉計は、高精度距離測定の新たな基準を打ち立てました。新しいIMP-DS10/90/VACミニチュアセンサは真空中で使用できるように設計されており、90°のビームパスにより省スペースでの統合が可能です。このセンサーは、インターフェロメーターIMS5400またはIMS5600コントローラと互換性があります。

5400-DSおよび5600-DSアブソリュート干渉計は、ナノメートル精度の距離測定に使用されます。この度、製品グループが拡大され、10mmの大きなベース距離を持つ新しいセンサーが加わりました。これらは、クリーンルーム環境や真空中での高精度アプリケーション用に設計されており、例えば、コーティングされたウェハー上の測定に使用されます。非磁性チタンUHVバージョンは、医療技術の核スピンや電子ビーム顕微鏡で見られるような強磁場での使用も可能です。

90°のビーム経路を持つ設計は、必要な設置深さを非常に小さくします。コントローラーの選択により、±50 nm未満または±10 nm未満の直線性が可能です。革新的なアブソリュート干渉計には、様々な制御システムや生産プログラムに最適に統合するための豊富な接続オプションがあります。アナログ出力だけでなく、Ethernet、EtherCAT、RS422、PROFINET、EtherNet/IPなどのデジタルインターフェースがあります。コントローラとセンサの設定は、ソフトウェアを追加することなく、ウェブインターフェースを介して通常通り実行できます。

その他のニュース

20.06.2026 01:05

超高速・高精度 - 150 kHzの測定レートを持つハイエンドレーザーセンサー

optoNCDT 5500 高性能レーザーセンサーは、いくつかの重要な性能最適化と機能強化を受けました。このセンサーは、全測定範囲で最大150 kHzの測定レートを達成し、測定範囲を制限すること...

13.06.2026 02:10

最新のオートメーションのためのスマートな距離測定

06.06.2026 01:05

最小の設置スペースで最大の性能を発揮

scanCONTROL 8500レーザースキャナーは、産業用3D測定技術を再定義します。4K解像度のクラス最小SMART 3Dレーザースキャナーとして、このシリーズは最高の測定性能と最小のスペー...

30.05.2026 01:05

ハイブリッド・ボンディングの平面性テスト

「ハイブリッド・ボンディング」は、半導体製造における先進的な接続技術で、2枚のウェハーまたはチップ（ダイ）を銅の接触面を介して直接接続する。これにより、従来のはんだボールが不要になります。最新の...

23.05.2026 01:05

安定したインラインウェーハ測定用90°センサー

マイクロイプシロンは、IMP-NIR-TH3/90/IP68センサにより、シリコンおよびSiCウェハのインライン厚さ測定用の特に堅牢なセンサで、インターフェロメータのポートフォリオを拡大します。...

14.05.2026 02:10

丸物のインラインプロファイル測定

新しいprofileGAUGE C.ODCは、極細ワイヤーや丸物材料の二軸プロファイル、直径、位置測定用の高精度センサーシステムです。この測定システムは、工業プロセスにおけるインライン測定タスク...