最先端の静電容量式製品ポートフォリオ

新しいcapaNCDT CS-x静電容量式センサーは、極めて温度安定性が高く、最大0.19 nmの分解能で測定できます。利用可能なすべてのコントローラおよびケーブルと組み合わせることができるため、産業および半導体機械製造におけるアプリケーションに最大限の柔軟性を提供します。測定範囲は0.25～10mmで、-50～+200℃の温度範囲で使用可能です。

利点

堅牢で高分解能
極めて高い温度安定性（-0.015 µm/K
既存システムへの容易な統合

マイクロイプシロンのcapaNCDTシリーズは、世界で最も新しい静電容量式センサの製品ポートフォリオを提供します。これらのセンサは、50 µmから10 mmの測定範囲で、産業環境における変位、距離、位置を測定します。最大0.03 nmの分解能と0.1 µmからの直線性という高精度に加え、コントローラ、センサ、ケーブルの組み合わせを可能にする高い柔軟性も特徴です。

これらの静電容量式センサーは温度安定性も非常に高く、-270～+200 °Cの過酷な産業環境でも使用できます。広範なセンサ・ポートフォリオには、30種類以上の標準センサが含まれていますが、特別な要件を満たすためにセンサをカスタマイズすることもできます。Ethernet、EtherCAT、PROFINETなどの最新インターフェースにより、既存システムへの迅速かつ容易な接続が可能です。

新製品：CS-xシリーズから特に温度安定性に優れた7種類のセンサが登場

capaNCDT CS-xシリーズから新たに7つのセンサが製品ポートフォリオに加わりました。これらのセンサーの測定範囲は0.25～10 mmです。特にセンサーの設計は、高温安定性に大きく影響する重要な要素です。このモデルは堅牢なステンレス製で、完全にプラグイン可能です。また、クランプ範囲も規定されている。これにより、ハウジングの温度による膨張を再現性よく補正することができます。強力なコントローラーと組み合わせることで、これらのセンサーは最大0.19 nmの分解能と最大0.25 µmの直線性で最高の精度を達成します。これらのセンサーは、-50～+200 °Cの温度で使用できます。

その優れた特性により、これらのセンサーは工業生産において変位、距離、位置、厚みを正確に測定します。機械に取り付ければ、移動経路や工具の位置などを監視することができます。また、特殊なセンサ特性により、真空環境やクリーンルームでの使用にも最適です。超伝導マグネットのような強い磁場を伴う特殊なアプリケーションのために、マイクロイプシロンはチタンやステンレス鋼のような非磁性材料で作られたセンサーケーブルを提供しています。

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