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MICRO-EPSILON Messtechnik GmbH & Co. KG

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24.10.2025 01:10

ダイナミックビームガイド用チルティングミラー

マイクロイプシロンの高速ステアリングミラーは、レーザービームを高速かつ正確に偏向させるためのマイクロメカトロニクスシステムです。小型化された傾斜ミラーは、ダイナミクスと傾斜角度の卓越した組み合わせを提供します。革新的なボイスコイル技術により、ピエゾ制御システムに匹敵する2 kHzという驚異的な最大周波数を達成し、しかも大幅に堅牢です。同時に、ミラーの可動範囲が±1.5°と広いため、自由度が広がり、常に高い精度で柔軟な応用が可能です。そのため、光通信や、航空宇宙・防衛分野、光計測・産業分野におけるレーザービームの安定化に最適です。

機能原理とシステム設計

ダイナミックシステムは、高精度の渦電流式変位センサーと高度に平坦なミラーを使用し、傾斜軸ごとに2つの電磁コイルをアクチュエーターで動かします。ファスト・ステアリング・ミラーは、2軸で極めて正確に制御することができる。中央のピボットポイントにより、遊びや摩耗のない同期動作が可能です。FSM3000チルティングミラーシステムは、その堅牢性、小型設計、そしてわずか約55gの軽量が印象的です。このため、組み込みが簡単なだけでなく、非常に弾力性に富んでいます。人工衛星の傾斜ミラーシステムは、ロケット打ち上げ時の強い衝撃や振動に容易に耐え、軌道上で非常に正確かつ確実に動作します。

様々な用途にカスタマイズ可能

FSM3000シリーズでは、マイクロイプシロンは標準ミラー(COTS)、顧客固有の適合(MOTS)、OEMシリーズアプリケーションの開発など、幅広いポートフォリオを提供しています。例えば、傾斜ミラーのミラー直径、コーティング、センサーエレクトロニクスは、それぞれのアプリケーションに適合させることができます。

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