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MICRO-EPSILON Messtechnik GmbH & Co. KG

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28.02.2026 01:02

真空コーティングの精密色検査

真空コーティングは、自動車から光学、医療技術、家電に至るまで、数多くのハイテク産業で使用されている。機能的な特性だけでなく、コーティングは部品の外観にも影響を与えます。色、彩度、光沢度はプロセスパラメータに大きく依存するため、わずかな偏差でも目に見える色の違いにつながります。そのため、正確で再現性の高い色検査は、品質保証に不可欠な要素です。

過酷なプロセス条件下でのインライン測定

colorSENSOR CFOは、真空チャンバー内で直接連続カラー測定を可能にします。特別に開発されたCFSセンサーが使用され、最大10-⁵mbarの圧力(高真空)と最大600 °Cの温度で測定を確実に実行します。ΔE<0.3の再現性と最大30kHzの測定周波数により、プロセスパラメーターをリアルタイムで監視・制御することができます。これにより、コーティングプロセスの高い安定性が保証され、不合格品が大幅に減少します。

要求の厳しい表面でも一貫した色品質

真空コーティングは、物理的(PVDプロセス)または化学的(CVDプロセス)に表面に適用されます。PVDコーティングとCVDコーティングでは、プロセス制御と温度管理に対する要求がそれぞれ異なります。PVDプロセスは蒸発またはスパッタリングプロセスによって特徴付けられますが、CVDプロセスはプロセスチャンバー内の化学反応に基づいています。colorSENSOR CFOは、信頼性の高いインプロセスカラーモニタリングで両方のテクノロジーをサポートします。得られた測定データは、異なるプロセスや材料システム間でコーティングの品質と光学特性を一定に保つのに役立ちます。

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