新世代の共焦点分光センサー

共焦点型DT IFS2407-xHT/VAC高温センサーは、過酷な環境下での測定において新たな基準を打ち立てました。この共焦点型分光センサーは、最高200 °Cの温度環境下でも極めて高精度な測定結果を提供します。アウトガスが極めて少ないため、これらのセンサーは超高真空（UHV）環境での使用にも対応しており、精密機械製造や半導体産業における測定作業に最適です。

新しいコンフォーカルDT IFS2407-xHT/VAC高温センサーは、Micro-Epsilonの製品ラインナップにおいて、最大200 °Cの高温に耐えることができる初の光学センサーです。有機系接着剤を使用していないため、このステンレス製の高温センサーはアウトガス量が少なく、超高真空 (UHV) 環境での使用に最適です。また、パッシブコンポーネント設計を採用しているため、センサーが周囲に熱放射を放出しないという利点もあり、真空環境での測定に最適です。

汎用性が高く、高精度

革新的な HT モデルは、反射面や拡散面での変位および距離測定、ならびに厚さ測定に使用されます。また、HTセンサーは、±0.18 µm未満という卓越した直線性と、0.1 µm/°C未満という極めて高い温度安定性を誇ります。これにより、この共焦点分色センサーは、半導体・エレクトロニクス産業や精密機械製造における測定作業に最適です。

さまざまな設置シナリオに柔軟に対応

コンパクトな設計により、設置スペースが限られている用途に最適です。設置深さをさらに浅くするための90°ビームパスモデルも用意されています。革新的なHTセンサーは、0.8 mm、2 mm、4 mmの測定範囲で提供されており、既存のプロセスラインに迅速かつ容易に統合できます。また、これらのセンサーは、共焦点分光式IFCコントローラと互換性があります。

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