新世代の共焦点クロマチックセンサー

新しいコンフォーカルDT IFS2407-xHT/VAC 高温センサーは、マイクロイプシロンの製品群の中で、最高200 °Cの高温に耐える初めての光学センサーです。有機接着剤を使用しないステンレス製の高温センサーは、アウトガスが少なく、超高真空（UHV）までの使用に最適です。また、パッシブコンポーネントの設計は、センサーが周囲に熱放射を放出しないため、真空中の測定に有利です。

汎用性と高精度

革新的なHTモデルは、反射面や拡散面の変位や距離測定、厚み測定に使用されます。また、HTセンサは、最大±0.18 µmという優れた直線性と、最大0.1 µm/°Cという極めて高い温度安定性で印象的です。このため、共焦点クロマチックセンサは、半導体・エレクトロニクス産業や精密機械工学における測定作業に最適です。

設置状況に柔軟に対応

コンパクト設計のため、設置スペースが限られたアプリケーションに最適です。設置スペースをさらに小さくする90°ビームパスのモデルもあります。革新的なHTセンサーは、0.8 mm、2 mm、4 mmの測定レンジがあり、既存のプロセスシステムに簡単かつ迅速に組み込むことができます。このセンサーは、共焦点クロマチックIFCコントローラーと互換性があります。