安定したインラインウェーハ測定用90°センサー

マイクロイプシロンは、IMP-NIR-TH3/90/IP68センサにより、シリコンおよびSiCウェハのインライン厚さ測定用の特に堅牢なセンサで、インターフェロメータのポートフォリオを拡大します。このセンサは90°のビームパスとわずか3mmの小さな作動距離を持ち、設置スペースが非常に限られたアプリケーションに最適です。

研削プロセスでの安定した測定

このセンサーは、スラリー研削のような要求の厳しいプロセスで真価を発揮します：IP68の堅牢なステンレス製ハウジングにより、高湿度や粒子汚染下でも機械内で直接使用することができます。研削やラッピング工程では、クリーンな光学系が特に重要です。内蔵のエアパージ装置により、光学系は常にパーティクルのない状態に保たれ、安定した測定が可能です。

90°ビームガイダンス

センサーの主な特長は、90°のビーム経路で、非常に狭い設置スペースでも統合が可能です。わずか3mmのワーキングディスタンスと直径15µmの非常に小さな光スポットは、機械内で直接正確なインライン測定の基礎を作ります。IMP-NIR-TH3/90/IP68センサーはIMS5420コントローラーで動作し、高い信号品質が重要な高濃度ドープウェーハの測定に、コンパクトでプロセス信頼性の高いソリューションを提供します。

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