マイクロイプシロン：テクニカルミラーの高精度測定

reflectCONTROLセンサーは、反射部品や光沢部品の高精度3D測定が必要な場合に使用します。この技術は、ナノメートルの精度で高い測定レートを実現するため、特に平坦な表面で威力を発揮します。

ReflectCONTROLセンサーは、最大500万点のデータポイントで技術用ミラーの表面をキャプチャし、測定対象を正確に再構築することができます。これにより、多数の表面変形を特定することができます。傷、へこみ、切り欠きなどの凹みだけでなく、ニキビ、粒、ビーズなどの隆起も可視化できます。表面の反射率を変化させるすべての影響は、振幅画像で可視化されます。

3Dセンサーは、位相測定偏向法の原理を利用しています。このセンサーの特徴は、特にナノメートル領域で非常に高いz分解能を持つことです。約170 mm x 160 mmの広い測定範囲と組み合わせることで、測定する表面の最大500万点のデータを数秒で取得することができる。